Pour les applications de positionnement critiques, telles l'étalonage de capteurs, l'usinage laser, les lignes à retard ou la lithographie directe par laser, Newport propose un service de calibration des platines de translation. Nous génèrerons, implémenterons et contrôlerons une compensation électronique pour améliorer la précision absolue de certaines platines de translation Newport lorsqu'elles sont utilisées avec un contrôleur XPS. Cette compensation est mesurée à 20,0 °C ±0,2 °C, pour des erreurs linéaires ou non. Un certificat de calibration suivant la procédure Newport A167 et des courbes de mesures sont alors fournis.
Possible pour la plupart des platines de translation Newport
Ces calibrations sont possibles sur les platines suivantes (un contrôleur XPS doit impérativement piloter ces platines).
Extrême précision garantie
Le protocole de mesure et de calibration Newport permet de compenser tous défauts répétables, améliorant ainsi considérablement la précision de positionnement. Voir ci-dessous les améliorations qui peuvent être obtenues (Figures 2 et 3).
Figure 1. Platines de translation XMS50 sans compensation de l'erreur linéaire; la précision est de 3 mm (crête/crête).
Figure 2. Platine de translation XMS50 avec compensation de l'erreur linéaire et mapping; mesures faites en différents points le jour suivant celles de la Figure 1. Les points montrent l'erreur vue aprés 5 aller-retours. La précision est alors de 0,3 mm (crête/crête).
Spécifications
| Précision * |
1mm/100 mm de course pour les platines type XM et GTS
1mm + 1mm/100 mm de course pour les platines type M-IMS-LM, M-IMS-CCHA, M-ILS-CCHA et M-VP-25XL |
*Valeurs de précision garanties sur 80% de la course centrée. Pour une précision <1mm, veuillez nous contacter.
