Die Lineartische der Serie MFA bieten eine motorische Positionierung mit höchster Auflösung in einer kostengünstigen und äußerst kompakten Ausführung. Typische Anwendungsbeispiele sind in der Ausrichtung von Faseroptiken, in der Laserdioden-Forschung, in biomedizinischen Anwendungen und in Inspektionssystemen zu finden.
Die MFA Lineartische sind in zwei Ausführungen erhältlich: Das Modell MFA-CC ist mit einem Miniatur-DC-Motor mit integriertem Getriebe und einem motorseitig montierten, hochauflösenden Rotationsencoder (2.048 Impulse/U) ausgerüstet. Die hochauflösende Positionsrückmeldung und das reibungsarme mechanische Design gewährleisten eine extrem gleichmäßige Positionierung mit 100 nm mimimaler Schrittweite. Das optimierte Ausgangsdrehmoment des DC-Motors ermöglicht die Verwendung eines Getriebes mit geringem Untersetzungsverhältnis für schnellere Positionierung mit höherer Zuverlässigkeit und weniger Umkehrspiel. Das Modell MFA-CC wird deshalb für Anwendungen empfohlen, die kleine Bewegungsschritte, einen hohen dynamischen Geschwindigkeitsbereich und eine gute Wiederholgenauigkeit erfordern. Die Versionen mit Schrittmotor (MFA-PP und MFA-PPD) sind preisgünstigere Alternativen für weniger anspruchsvolle Anwendungen. Endschalter verhindern Beschädigungen der Lager durch versehentliches Überfahren der Position.
Die Lineartische der Serie MFA sind komplett aus Stahl gefertigt und haben somit ein besseres Verhältnis Steifigkeit/Gewicht und eine geringere Wärmeausdehnung als vergleichbare Einheiten aus Aluminium. Das Resultat ist ein besseres Leistungsverhalten in kompakterer Bauform. Die gleichmässige Bewegung der MFA Lineartische wird noch durch das Newport-eigene Design der doppelreihigen Kugelführungen unterstützt; die Führungen werden direkt in das Material, aus dem die Lineartische sind, eingearbeitet. Im Vergleich zu alternativen Lösungen, die kommerziell erhältliche Führungen benutzen, ergibt sich dadurch einen höhere Belastbarkeit und eine verbesserte Steifigkeit, was zu geringenen Neige- und Gierfehlern führt.
Ein weiterer Vorteil der integrierten Führungen ist, dass man dadurch 4 Montagebohrungen in grossem Abstand erhält. Dies ermöglicht eine weit bessere Verteilung der, bei einer Montage von XY-Baugruppen oder bei einem Festschrauben auf eine Basisplatte auftretenden Spannung, als dies mit nur 2 Montagebohrungen möglich wäre.
XYZ-Baugruppe mit drei MFA Lineartischen
Konstruktionsparameter
| Material |
Edelstahl |
| Führungen |
Doppelreihige Kugelführungen |
| Antriebsmechanismus |
Gewindespindel mit Umkehrspielkompensation |
| Steigung der Verstellschraube (mm) |
0,5 |
| Untersetzungsgetriebe |
MFA-CC
: 1:14 |
| MFA-PP
: 1:43 |
| Feedback |
MFA-CC: Am Motor angebrachter Rotationsencoder; 2048 Impulse/U
MFA-PP: Offener Regelkreis, kein Encoder |
| Endschalter |
Optisch |
| Nullpunkt |
Verwendet motorseitigen Endschalter als Referenzpunkt, typische Wiederholgenauigkeit <0,5 mm |
| Motor |
MFA-CC: DC-Servo-Motor UE1724SR
MFA-PP: 2-Phasen- Schrittmotor UE16PP, 1 Vollschritt = 0.485 mm |
| Verbindungskabel |
1,5 |
| Vakuumkompatibilität |
Vakuumkompatible Ausführungen mit DC Motor erhältlich (bis zu 10-6 hPa). Maximale Last, Geschwindigkeit und Beschleunigung reduzieren sich um einen Faktor 2 |
Technische Daten
|
MFA-PP
und MFA-PPD |
MFA-CC
|
| Verstellbereich (mm) |
25 |
| Auflösung (µm) |
0,00757** |
0,0175 |
| Kleinste Schrittweite (µm) |
0,1 |
0,1 |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit (µm) |
0,25 typisch, 0,5 garantiert |
0,18 typisch, 0,3 garantiert |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit (µm) |
1 typisch*, 2,5 garantiert* |
0,6 typisch*, 2 garantiert* |
| Genauigkeit entlang der Achse (µm) |
3 typisch, 8 garantiert |
| Maximale Geschwindigkeit (mm/s) |
0,3 (MFA-PP)
1,0 (MFA-PPD) |
2,5 |
| Neigen (µrad) |
80 typisch, 200 garantiert |
| Gieren (µrad) |
60 typisch, 100 garantiert |
| MTBF |
10000 Stunden mit 1 kg Last und 20% Auslastung |
| Gewicht (kg) |
0,6 |
0,6 |
* nach Umkehrspielkompensation
**entspricht 1/64 eines Vollschritts
Für weitere Informationen bezüglich unserer typischen und garantierten Spezifikationen, siehe Kapitel „Technische Erläuterungen“ (siehe
Messtechnik in der Mikropositionierung).
Belastbarkeit
| Cz, zentrale Belastbarkeit |
50 N |
| +Cx, axiale Belastbarkeit (+) |
10 N |
| kαx, Nachgiebigkeit (Rollen) |
60 mrad/Nm |
| kαy, Nachgiebigkeit (Neigen) |
10 mrad/Nm |
| Q, exzentrische Belastung |
Q≤Cz / (1 + D/20) |
| D, Länge des Hebelarms in mm |
|
