Die Lineartische der Serie M-MTM sind komplett aus Stahl gefertigt und kombinieren hohe Steifigkeit mit hoher thermischer Stabilität in einer flachen Konstruktion. Die M-MTM-Lineartische zeichnen sich durch lange Verstellwege von bis zu 250 mm, eine hohe Belastbarkeit von 100 kg und eine extrem hohe axiale Belastbarkeit von bis zu 200 N aus.
Für höchste Betriebssicherheit sind die Kugelführungen aus präzisionsgeschliffenem Werkzeugstahl gefertigt. Durch den Einsatz einer diamantgedrehten Spindel und einer präzisionsgeläppten Mutter wird eine leichtgängige und ruckfreie Bewegung erreicht. Die Mutter ist zur Eliminierung des Umkehrspiels vorgespannt und mit einer hochentwickelten flexiblen Kupplung ausgestattet, so dass eine Exzentrizität der Spindel die Bewegung des Messtisches nicht beeinträchtigt.
Zur hochpräzisen Bestimmung der Ausgangsposition sind die M-MTM-Tische mit einem Referenzschalter und einem Encoder mit Indeximpuls ausgerüstet. Die Referenzposition kann mit einem externen Schalter in die Mitte sowie an einen der beiden Enden des Verstellweges festgelegt werden.
Zubehör
Montagewinkel EQ160 zur vertikalen Montage von M-MTM-Lineartischen.
Antriebsoptionen
M-MTM Lineartische mit Schrittmotorantrieb sind in vier Varianten verfügbar:
Zwei Minischritt-Versionen mit Auflösungen von 1 µm (PP1) und 0,1 µm (PP.1). Beide Versionen verbinden die Präzision der Schrittmotortechnik mit der leichtgängigen Bewegung des 1/10-Schritt je Encoderimpuls Antriebsmodus. Für eine außergewöhnlich ruhige Positionierung bei geringen Geschwindigkeiten verwenden die Newport Motorsteuerungen einen bis zu 250-fachen Mikroschrittbetrieb.
Zwei Vollschritt-Versionen mit Auflösungen von 1 µm (PE1) und 0,1 µm (PE.1). Diese Versionen wurden hauptsächlich für Anwendungen entwickelt, bei denen die Position auch nach Stromabschaltung innerhalb der mechanischen Auflösung des Tisches gesichert sein muss, z.B. für den Einsatz im Vakuum.
Zwei Ausführungen mit DC-Motor-Antrieb und Auflösungen von 1 µm (CC1) bzw. 0,1 µm (CC.1) sind verfügbar. Beide Versionen sind mit einem eingebautem Tachogenerator ausgestattet, wodurch eine höhere Geschwindigkeitsstabilität erreicht wird.
Konstruktionsparameter
| Material |
Edelstahl |
| Führungen |
Lineare Kugelführungen |
| Antriebsmechanismus |
Gewindespindel mit Umkehrspiel-Kompensation |
| Steigung der Verstellschraube (mm) |
CC: 4
PP, PE: 2 |
| Untersetzungsgetriebe |
10:1 bei allen Versionen mit 0,1 µm Auflösung
zusätzliches Getriebe am Motor 10:1 bei allen PE-Versionen |
| Feedback |
CC: 4.000 Pulse/U, Rotationsencoder mit Indeximpuls
PP, PE: 2.000 Pulse/U, Rotationsencoder mit Indeximpuls |
| Endschalter |
Mechanisch |
| Nullpunkt |
In der Mitte, kann über externen Schalter am linken oder rechten Ende des Verstellwegs festgelegt werden |
| Verbindungskabel |
Ein 3 m langes Verbindungskabel wird mitgeliefert, |
| Schutz |
Faltenbalg |
| Vakuumkompatibilität |
In Kombination mit einem Vollschrittmotor sind vakuumtaugliche Versionen bis 10-6 hPa erhältlich (PE1 und PE.1) |
Technische Daten
|
|
MTM (M-MTM) |
|
|
PP1, PE1, CC1 |
PP.1, PE.1, CC.1 |
|
Typisch |
Garantiert |
Typisch |
Garantiert |
| Verstellbereich (mm) |
100; 150; 200 und 250 |
| Auflösung (µm) |
1 |
0,1 |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit (µm) |
0,7 |
1,5 |
0,7 |
1,5 |
| Umkehrfehler (Hysterese) (µm) |
0,6 |
1,5 |
1 |
2 |
| Genauigkeit entlang der Achse (1) (µm) |
3 |
5 |
3 |
5 |
| Maximale Geschwindigkeit (mm/s) |
40(2) (CC1), 20 (PP1), 2(3) (PE1) |
4 (CC.1), 2 (PP.1), 0,2(3) (PE.1) |
| αy Neigen (1) (µrad) |
25 |
40 |
25 |
40 |
| αz Gieren (1) (µrad) |
20 |
35 |
20 |
35 |
| Gewicht (kg) |
MTM100CC1
: 10; MTM150CC1
: 11,5; MTM200CC1
: 13; MTM250CC1
: 14,5 |
(1) Für einen Verstellweg von 100 mm.
(2) 20 mm/s bei vertikaler Montage mit max. Cx
(3) Bei den BV6-Versionen ist die maximale Geschwindigkeit um den Faktor 2 kleiner.
Für weitere Informationen bezüglich typischer und garantierter Spezifikationen, siehe Kapitel "Technische Erläuterungen" (siehe
Messtechnik in der Mikropositionierung).
Belastbarkeit
| Cz, zentrale Belastbarkeit |
1000 N |
| +Cx, axiale Belastbarkeit (+) |
200 N (PE1, PE.1, PP.1)
150 N (PP1, CC.1)
100 N (CC1) |
| -Cx, axiale Belastbarkeit (-) |
50 N |
| kαx, Nachgiebigkeit (Rollen) |
5 µrad/Nm |
| kαy, Nachgiebigkeit (Neigen) |
10 µrad/Nm |
| Q, exzentrische Belastung |
Q≤Cz / (1 + D/100) |
| Wobei D = Länge des Hebelarms in mm. |
|
