Die Lineartische der M-IMS-LM-Serie wurden für mehrachsige Positioniersysteme mit Verstellwegen von 300 bis 600 mm ausgelegt. Sie zeichnen sich durch ihr hervorragendes Preis-Leistungsverhältnis aus und eignen sich als kostengünstige Lösung für Präzisionspositionierungen in der Industrie, darunter Halbleiterinspektion, Montage und Prüfung von Mikroelektronik, Pick & Place, DNA-Sequenzierung und Laserstrahlbearbeitung.
Die Lineartische der M-IMS-LM-Serie basieren auf der bewährten M-ILS- und M-IMS-Technik. Die steife Konstruktion aus stranggepresstem Aluminium wurde so optimiert, dass Verwindungen aufgrund von unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Aluminiumtisches und der Stahlführungen minimiert werden.
Im Gegensatz zu Positionierern mit Spindelantrieb wird ein Linearmotor als Antrieb verwendet. Dieser Antrieb ist absolut geräuschfrei und bietet höhere Geschwindigkeit, Beschleunigung und kürzere Reaktionszeiten ohne Abnutzung von Motorbürsten oder Antriebsspindeln. Und dank des voll integrierten Antriebs ist der M-IMS-LM mehr als 100 mm kürzer als vergleichbare spindelgetriebene Positionierer. Deshalb sind M-IMS-LM-Modelle die optimale Lösung für platzsparende Anwendungen, die hohen Durchsatz, hohe Zuverlässigkeit und geräuscharmen Betrieb erfordern.
Der M-IMS-LM nutzt einen hochleistungsfähigen, 3-Phasen Synchron-Linearmotor mit Eisenkern. Linearmotoren mit Eisenkern werden häufig aufgrund ihrer variablen Vorschubkraft (cogging) kritisiert, Ihre Effizienz ist jedoch fast doppelt so hoch wie bei eisenlosen Linearmotoren. Daraus ergeben sich eine höhere Beschleunigung und wesentlich geringere Wärmeverluste, was Leistungseinbußen und Präzisionsverluste bei schnellen Punkt-zu-Punkt-Bewegungen reduziert.
Die Kugelumlaufführungen mit Kugelkette sorgen für hervorragende Lastverteilung und lange Lebensdauer. Die Kugelkette in den Umlaufelementen garantiert eine wesentlich präzisere Linearverstellung, geringere Geräuschentwicklung und längere Lebensdauer als bei alternativen Führungen ohne Kugelkette.
Zur Positionsermittlung wird ein hochgenauer Linearmaßstab verwendet. Durch Interpolation der Encoder-Signale über die XPS-Motorsteuerung wird eine Auflösung im Subnanometerbereich erzielt, die hervorragende Bewegungsempfindlichkeit, Wiederholbarkeit und Stabilität garantiert. Die Signale der Refernz- und Endpositionen sind in dem selben Maßstab integriert, wodurch die Notwendigkeit weiterer elektronischer bzw. mechanischer Komponenten wegfällt und die Zuverlässigkeit und Genauigkeit erhöht wird.
Wünschen Sie eine höhere Genauigkeit?
Für besonders anspruchsvolle Positionieraufgaben bietet Newport einen Kalibrierservice an. Dieser beinhaltet die Erzeugung, Implementierung und Verifizierung einer elektronischen Fehlerkompensation zur Verbesserung der Genauigkeit von selektierten M-IMS-LM Lineartischen. Dieser Service steht nur bei Verwendung der XPS Motorsteuerung zur Verfügung.
Die Messung der Genauigkeit erfolgt bei einer Temperatur von 20,0 °C +/-0,2 °C. Alle reproduzierbaren linearen und nichtlinearen Fehler werden kompensiert. Die Genauigkeit mit Fehlerkompensation ist besser als 1 mm + 1 mm je 100 mm Verfahrweg und wird über zentrale 80% des Verstellwegs garantiert. Ein Kalibrierzertifikat gemäß Newports Meßprozedur A167 und eine Tabelle mit den Korrekturwerten werden mitgeliefert. Weitere Informationen.
Lineartische der M-IMS-LM-Serie sind in der Lage, minimale inkrementale Bewegungen mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit auszuführen.
Genauigkeit eines IMS300LM-Tischs nach Kompensation von Linearfehlern. Die Daten wurden dynamisch mit einer Frequenz von 10 kHz aufgezeichnet, während der Lineartisch sich mit einer Geschwindigkeit von 50 mm/s bewegte. Die Position sowohl des Encoders als auch des Interferometers wurden von einer Motorsteuerung XPS mit weniger als 50 ns Latenzzeit zwischen den verschiedenen Signalen aufgezeichnet.
Die M-IMS-LM Lineartische bieten hervorragende Geschwindigkeitsstabilität für kontinuierliche Scan-Anwendungen und Laserstrahlbearbeitung.
Die hohe Steifigkeit der M-IMS-LM Lineartische führt zu sehr kurzen Positionierzeiten, die die Leistung und den Durchsatz vieler Schritt-, Scan- und kontinuierlicher Bearbeitungsprozesse verbessert.
Konstruktionsparameter
| Material |
Stranggepresstes Aluminium |
| Führungen |
Zweireihige Kugelumlaufführungen mit Kugelkette |
| Antriebsmechanismus |
3-Phasen Synchron-Linearmotor mit Eisenkern (ohne Hallsensoren) |
| Motor Initialisierung |
Wird vom XPS Controller durch ein patentiertes Verfahres durchgeführt, welches ohne Hall-Sensoren auskommt und keine nennenswerten Bewegungen während der Initialisierung verursacht. |
| Motor Kommutierung |
Wird vom XPS Controller auf den Encoder Signalen durchgeführt. |
| Feedback |
Linearmaßstab aus Stahl, 20 mm Signalperiode, 1 Vpp, 32.768-fache Signalinterpolation durch XPS Motorsteuerung. |
| Referenzposition |
Optisch an der Referenzmarke des Encoders in der Mitte des Verstellwegs |
| Verbindungskabel |
Ein 5 m langes Verbindungskabel wird mitgeliefert |
Technische Daten
| Modell |
M-IMS300LM |
M-IMS400LM |
M-IMS500LM |
M-IMS600LM |
| Verstellbereich (mm) |
300 |
400 |
500 |
600 |
| Auflösung* (mm) |
0,005 |
| Kleinste Schrittweite (nm) |
20 |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit, garantiert (mm) |
0,5 |
| Genauigkeit entlang der Achse, garantiert (mm) |
9 |
11 |
15 |
20 |
| Maximale Geschwindigkeit (mm/s) |
500 |
| Maximale Beschleunigung, keine Last (m/s2) |
20 |
| Maximale Vorschubkraft (kontinuierlich) (N) |
60 |
| Maximale Vorschubkraft (Spitze) (N) |
120 |
| Neigen, garantiert (mrad) |
250 |
250 |
250 |
300 |
| Gieren, garantiert (mrad) |
200 |
250 |
300 |
450 |
| MTBF (Std.) |
20,000 |
| Gewicht (kg) |
17 |
19 |
21 |
23 |
* Die intern verwendete Auflösung liegt unter 1 nm.
Belastbarkeit und Steifigkeit
| Cz, zentrale Belastbarkeit |
600 N |
| kax, Nachgiebigkeit (Rollen) |
1 mrad/Nm |
| kay, Nachgiebigkeit (Neigen) |
0,2 mrad/Nm |
| kaz, Nachgiebigkeit (Gieren) |
1 mrad/Nm |
| Q, exzentrische Belastung |
QH£Cz/(1 + D/90) |
| Wobei D = Länge des Hebelarms in mm |
|
