Die Lineartische der M-ILS-Serie bieten einen Verstellweg von 50–250 mm. Sie verbinden eine schnelle Positionierung und Sub-mm-Auflösung mit einer extrem steifen und robusten Konstruktion. Die aus stranggepresstem Aluminium gefertigten Tische wurden so optimiert, dass Verwindungen aufgrund von unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Aluminiumtisches und der Stahlführungen minimiert werden. Die U-Profil-Konstruktion gewährleistet gleichzeitig eine hohe Steifigkeit bei relativ geringer Masse.
Für schnelle Verstellungen mit kurzen Einschwingzeiten verwenden die M-ILS-Lineartische eine spielfrei vorgespannte Kugelumlaufspindel. Die Kugelumlaufspindel ist präzisionsgeschliffen, um Erwärmung während der Verstellung zu minimieren und die Lebensdauer des Positionierers zu erhöhen. Die Kugelumlaufführungen garantieren eine präzise Linearverstellung und vermeiden Bewegungen des Kugelkäfigs, wie sie bei linearen Kugelführungen oder Kreuzrollenführungen zu beobachten sind.
Die Position wird über einen direkt an der Spindel angebrachten Encoder mit 4000 Zählpulsen pro Umdrehung erfasst, wodurch Kupplungs-Fehler vermieden werden. Für anspruchsvollere Anwendungen empfehlen wir die CCHA-Versionen mit integriertem Linearmaßstab und 0,1 mm Auflösung. Der zusätzliche Tachogenerator erhöht die Geschwindigkeitsstabilität bei Scan-Anwendungen mit niedriger Geschwindigkeit. Er verhindert gleichzeitig spontane sub-mm Positionssprünge, wie sie durch Störspitzen der Bürsten des DC-Motors verursacht werden können.
Eine steife Abdeckung schützt den Antriebsstrang vor Beschädigungen und vor Staub, Schmutz und sonstigen Verunreinigungen. Die M-ILS-Lineartische besitzen außerdem einen Referenzschalter, Endschalter, sowie Elastomerdämpfer am Ende der Verstellwege, um Notbremsungen abzudämpfen.
Wünschen Sie eine höhere Genauigkeit?
Für besonders anspruchsvolle Positionieraufgaben bietet Newport einen Kalibrierservice an. Dieser beinhaltet die Erzeugung, Implementierung und Verifizierung einer elektronischen Fehlerkompensation zur Verbesserung der Genauigkeit von selektierten M-ILS-CCHA Lineartischen. Dieser Service steht nur bei Verwendung der XPS Motorsteuerung zur Verfügung.
Die Messung der Genauigkeit erfolgt bei einer Temperatur von 20,0 °C +/-0,2 °C. Alle reproduzierbaren linearen und nichtlinearen Fehler werden kompensiert. Die Genauigkeit mit Fehlerkompensation ist besser als 1 mm + 1 mm je 100 mm Verfahrweg und wird über zentrale 80% des Verstellwegs garantiert. Ein Kalibrierzertifikat gemäß Newports Meßprozedur A167 und eine Tabelle mit den Korrekturwerten werden mitgeliefert. Weitere Informationen.
Zubehör
Montagewinkel EQ 120 für die vertikale Montage eines Lineartisches M-ILS oder eines Rotationstisches RV.
XYZ-Aufbau bestehend aus zwei Lineartischen M-IMS (siehe Leistungsstarke Lineartische für lange Verstellwege), einem Lineartisch M-ILS, sowie einem Montagewinkel EQ120.
Aufbau bestehend aus einem Rotationstisch RV80 (siehe Hochpräzise Rotationstische aus Edelstahl), einem M-ILS Lineartisch und einem Montagewinkel EQ120.
Konstruktionsparameter
| Material |
Stranggepresstes Aluminium |
| Führungen |
Zweireihige Kugelumlaufführungen |
| Antriebsmechanismus |
Umkehrspielfreie Kugelumlaufspindel |
| Steigung der Verstellschraube (mm) |
2 |
| Feedback |
CC, CCL, PP: An der Spindel angebrachter Rotationsencoder, 4.000 Impulse/U, mit Indeximpuls
CCHA: Linearmaßstab aus Stahl, 20 mm Teilungsperiode, 0,1 mm Auflösung |
| Endschalter |
Optisch |
| Nullpunkt |
Optisch, in der Mitte des Verstellwegs |
| Motor |
CC, CCL: DC-Motor UE404S2
CCHA: DC Servo Motor mit Tachometer UE404S2-T
PP: 2-Phasen-Schrittmotor UE41UP, 1 Vollschritt = 20 Encoderimpulse |
| Verbindungskabel |
Ein 3 m langes Verbindungskabel wird mitgeliefert |
Technische Daten
|
|
ILS (M-ILS) |
|
|
PP |
CC, CCL(2) |
CCHA |
|
Typisch |
Garantiert |
Typisch |
Garantiert |
Typisch |
Garantiert |
| Verstellbereich (mm) |
50, 100, 150, 200, 250 |
| Auflösung (mm) |
0,5 |
0,1 |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit (mm) |
0,7 |
1,5 |
0,7 |
1,5 |
0,2 |
0,4 |
| Umkehrfehler (Hysterese) (mm) |
0,4 |
1 |
0,4 |
1 |
0,1 |
0,3 |
| Genauigkeit entlang der Achse(1) (mm) |
2,5 |
5 |
2,5 |
5 |
2 |
4 |
| Maximale Geschwindigkeit (mm/s) |
50 |
100(3) |
100 |
| Neigen1 (mrad) |
40 |
100 |
40 |
100 |
40 |
100 |
| Gieren1 (mrad) |
55 |
100 |
55 |
100 |
55 |
100 |
| MTBF (Std.) |
20000 |
| Gewicht (kg) |
ILS50CC
: 4,2; ILS100CC
: 4,5; ILS150CC
: 4,8; ILS200CC
: 5,1; ILS250CC
: 5,4 |
1) Für einen Verstellweg von 100 mm.
2) Verwenden Sie M-ILSCCL Versionen nur mit der Motorsteuerung SMC100CC.
3) 50 mm/s mit SMC100CC.
Für weitere Informationen bezüglich typischer und garantierter Spezifikationen, siehe Kapitel "Technische Erläuterungen" (siehe
Messtechnik in der Mikropositionierung).
Belastbarkeit
| Cz, zentrale Belastbarkeit |
250 N |
| +Cx/-Cx, axiale Belastbarkeit |
40 N |
| kax, Nachgiebigkeit (Rollen) |
15 mrad/Nm |
| kay, Nachgiebigkeit (Neigen) |
10 mrad/Nm |
| kaz, Nachgiebigkeit (Gieren) |
10 mrad/Nm |
| Q, exzentrische Belastung |
Q£Cz/(1 + D/60) |
| Wobei D = Länge des Hebelarms in mm |
|
Abgebildetes Modell: M-ILS150
|
|
|
|
|
|
Abmessungen für CC, CCL, und PP |
Abmessungen für CCHA |
| Modell |
A |
n1 |
B |
n2 |
L2 |
L1 |
L3 |
L1 |
L3 |
| ILS50 (M-ILS50) |
|
2 |
|
2 |
203 |
358 |
123 |
394 |
159 |
| ILS100 (M-ILS100) |
|
2 |
|
2 |
253 |
408 |
123 |
444 |
159 |
| ILS150 (M-ILS150) |
|
2 |
3 Zoll |
4 |
303 |
458 |
123 |
494 |
159 |
| ILS200 (M-ILS200) |
100 |
4 |
3 Zoll |
4 |
353 |
508 |
123 |
544 |
159 |
| ILS250 (M-ILS250) |
100 |
4 |
3 Zoll |
4 |
403 |
558 |
123 |
594 |
159 |
Deckplatte für M-ILS
|
Gewinde |
Abmessungen |
| Modell |
A |
B |
C |
D |
E |
F |
G |
H |
J |
K |
L |
M |
| ILS (M-ILS) |
M6 |
75 |
25 |
100 |
50 |
25 |
75 |
50 |
100 |
110 |
6 |
12 |
Deckplatte für M-ILS
| M-ILS Montage mit |
Montagebohrungen |
Platte & Schrauben |
| MFA |
4 Bohrungen Ø 7,5 auf 75,8 x 25,4 |
Grundplatte—M6 x 12 |
| UZS80 |
4 Bohrungen Ø 7,5 auf 101 x 50,4 |
Grundplatte—M6 x 12 |
| BGS80 |
4 Bohrungen Ø 7,5 auf 101 x 50,4 |
Grundplatte—M6 x 12 |
| BGS50 |
4 Bohrungen Ø 7,5 auf 75,8 x 25,4 |
Grundplatte—M6 x 12 |
| RVS80 |
6 Bohrungen Ø 4,5 bei 60° auf Ø 92 |
M4 x 16 |
