Die Einbau-Isolatoren für schwere Lasten von Newport bieten eine hervorragende pneumatische Schwingungsisolierung für Lasten bis zu 5 Tonnen. Diese mit dem Stabilizer™ Hybridkammerdesign von Newport ausgerüsteten Isolatoren besitzen ein besonders großes Compliance-Volumen und daher eine exzellente vertikale Schwingungsisolierung, die bei Isolatoren dieser Größe ihresgleichen sucht. Sie verfügen über eine hohe Dämpfung und kurze Rückstellzeiten, wie sie für Aufbauten mit Lastbewegungen wichtig sind, bei gleichzeitig nur sehr geringfügiger Beeinträchtigung der Schwingungsisolierungseigenschaften. Alle Isolatoren für schwere Lasten verfügen über die patentierte Selbstzentrierung von Newport zur einfacheren Integration in OEM-Geräte. Die große Auswahl und das modulare Design stellen eine größtmögliche Flexibilität bei der Konstruktion von Präzisionsgeräten sicher.
Da die Schwingungsdämpfung bei voller Belastung am wirkungsvollsten ist, werden drei verschiedene Designs angeboten. Dadurch stehen mit der Isolatorserie für schwere Lasten insgesamt sechs unterschiedliche Volllast-Kapazitäten für die Optimierung von 3- oder 4-Fuß-Systemen zur Verfügung. Mit den zusätzlichen Optionen bei der Auswahl der Regelventile und Dämpfung der Isolatoren können Systeme auf spezielle Anforderungen von Maschinen oder Anwendungen abgestimmt werden. Insgesamt achtzehn Standardkonfigurationen werden im Folgenden aufgelistet—unzählige weitere sind von Newport lieferbar.
Für hochauflösende Systeme—Stabilizer™ Isolatoren der Serie „A“
In vielen hochauflösenden Systemen—wie Interferometern, Profilern und AFMs—beschränken Vibrationen, auch wenn sie sehr klein sind, die Messempfindlichkeit. Die Isolatoren für schwere Lasten der Serie “A” von Newport besitzen die gleiche hochmoderne Hybridkammer-Technologie, die für die Schwingungsdämpfer I-2000 entwickelt wurde. Die Schwingungsisolierung dieses Systems ist bei pneumatischen Isolatoren dieser Größe unübertroffen. Die Isolatoren der Serie „A“ sind die beste Wahl für die meisten hochauflösenden Anwendungen.
Für Systeme mit hohem Durchsatz—Isolatoren der Serie „B“ mit hoher Dämpfung
Diese auf der Stabilizer™-Technologie aufbauende Version verfügt über eine erhöhte Dämpfung und dadurch reduzierte Rückstellzeiten. Die Serie „B“ sollte für hochauflösende Systeme mit erhöhten Anforderungen an die Rückstellgeschwindigkeit und Stabilität ausgewählt werden, bei denen Lasten auf der Arbeitsplatte bewegt werden. Diese Isolatoren vermindern den Luftstrom durch das Dämpfungselement um 50% und arbeiten mit Hochleistungsventilen. Für spezielle Anforderungen an die Isolation und bewegte Lasten können kundenspezifische Abstimmungen und Designs gefertigt werden.
Anwendungen
Semiconductor Equipment
- Wafer Steppers
- Mask and Reticule Inspection
- SEMs/TEMs
- Optical Inspection
Data Storage Equipment
- CD/DVD Mastering
- Optical Inspection
Für Systeme mit hohem Durchsatz —Isolatoren der Serie „C“ mit verstärkter horizontaler Dämpfung
Aufbauten mit horizontal stark beschleunigten Lasten erfordern eine stärkere Schwingungsdämpfung. Basierend auf der langjährigen Erfahrung von Newport bei der Fertigung schnell verfahrender, luftgelagerter Lineartische verfügen die Isolatoren der Serie „C“ neben den Designelementen der Standard Stabilizer Isolatoren und der vertikal gedämpften Version „B“ zusätzlich über eine hohe horizontale Dämpfung. Die horizontale Pendelaufhängung von Newport bietet eine hervorragende Schwingungsisolierung bei schwachen Vibrationen und ist anderen reibungsanfälligen Kardan- und Tragesystemen deutlich überlegen. Die einzigartige horizontale Dämpfung absorbiert die Bewegungsenergie eines Lineartisches mit nur sehr geringer Beeinträchtigung der Isolierung.
Rückstell- und Repositioniergenauigkeit
Die vertikale Standardrückstellgenauigkeit der Schwingungsdämpfer für schwere Lasten beträgt ± 0,25 mm. Kundenspezifische Designs mit einer Rückstellgenauigkeit von 0,05 mm sind jedoch erhältlich. Der horizontale Verstellweg beträgt 3 mm mit einer Repositioniergenauigkeit von 0,08 mm. Für eine präzisere Positionierung kann ein Feststellmechanismus erforderlich werden.
Feststellung der Montageplatte und andere kundenspezifische Anforderungen
Zahlreiche moderne Inspektions- und Fertigungssysteme erfordern eine sehr präzise Positionierung der Nutzlast, wie z. B. während der Handhabung von Wafern. Newport bietet sowohl mit Druckluft arbeitende Feststellsysteme an wie auch regulierte und nicht regulierte Systeme, die auf der Schwerkraft basieren. Diaphragmen mit unterschiedlicher Steifigkeit und leistungsfähige Regelventile werden verwendet, um die Schwingungsisolierung auf spezielle Geräteanforderungen abzustimmen. Die Isolatoren sind in zahlreichen Höhen lieferbar und können zudem in Rohrrahmen integriert werden.
Nichtmagnetische Designs
Die Isolatoren der Serie I-800 besitzen ein Gehäuse aus Aluminium und können für Anwendungen, die nichtmagnetische Isolatoren benötigen, modifiziert werden. Mögliche Anwendungen sind: Kernmagnetische Resonanz (NMR), Supraleiterforschung und andere Anwendungen mit starken Magnetfeldern. Bitte wenden Sie sich für eine kundenspezifische Gestaltung (OEM) an Newport.
