Die hochpräzisen Lineartische der Serie GTS bieten eine hohe Einstellempfindlichkeit und eine hervorrangende Ablaufgenauigkeit in einer kompakten, robusten und kostengünstigen Bauform. Sie eignen sich ideal für anspruchsvolle Positionieraufgaben wie scannende Verfahren zur Oberflächeninspektion, Testung und Kalibrierung von Sensoren, Ausrichten und Fügen von mikrooptischen Bauteilen und für hochpräzise optische Verzögerungsstrecken.
Die GTS Lineartische sind aus spannungsfrei geglühtem Aluminium 7075 gefertigt, womit eine hervorrangende langfristige Stabilität erreicht wird. Alle kritischen Flächen werden in mehrfachen Fertigungsprozessen unter strengen Temperaturauflagen und Qualitätsprüfungen hergestellt und präzisionsgeschliffen.
Der fortschrittliche, asymmetrisch geformte Körper der GTS Lineartische bietet eine definierte, flexible Vorspannung der Wälzlager. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Leistung auch über größere Temperaturbereiche und bei nichtidealen Befestigungsflächen.
Um eine möglichst geradlinige Bewegung sicherzustellen, sind die Lineartische GTS mit paarweise aufeinander abgestimmten, hochklassigen Kreuzrollenlagern mit Zwangsführung ausgestattet. Die Bauweise ohne umlaufende Kugelführungen ermöglicht eine einzigartige gleichförmige Bewegung ohne Restwelligkeit, wie sie für anspruchsvolle Scan- und Inspektionssysteme benötigt wird. Außerdem schützt die Führung der Wälzlager vor Lagerkäfigbewegungen, wie sie bei anderen Linearführungen vorkommt.
Ein DC-Servomotor mit großem Drehmoment und eine reibungsarme, präzise geschliffene und spielfrei vorgespannte Kugelumlaufspindel verhindern stick-slip Effekte und gewährleisten eine gleichmäßige Bewegung und 100 nm inkrementale Einstellempfindlichkeit.
Die GTS Lineartische sind mit den Newport-Steuerungen ESP300, SMC100CC und XPS kompatibel und verwenden keinen Tachometer. Dies vereinfacht den Betrieb auch mit Steuerelektroniken anderer Hersteller. Und im Gegensatz zu alternativen direkt-getriebenen Systemen erhalten die GTS Lineartische ihre Position auch nach Abstellen des Motors und ermöglichen den vertikalen Einsatz mit Lasten bis zu 25 N ohne Gegengewicht. Manuelle Verstellungen können über eine Rändelschraube am Ende des Motorblocks vorgenommen werden.
Ein mittig montierter optischer Linearmaßstab gewährleistet eine präzise Positionsrückmeldung mit 50 nm Auflösung. Das raumsparenede Design mit ortsfestem Lesekopf verhindert dabei Kabelbewegungen im Innern des Lineartisches und verbessert so die Robustheit und Langlebigkeit mit einem MTBF-Wert von 20.000 Stunden. Die GTS Lineartische sind mechanisch kompatibel mit den ultrapräzisen Lineartischen der Serie XM, den Drehtischen der Serien URS und RGV100BL und den Vertikaltischen GTS30V und M-VP-5ZA. Auf Anfrage können wir Ihnen auch einen 90°-Montagewinkel anbieten.
Wünschen Sie eine höhere Genauigkeit?
Für besonders anspruchsvolle Positionieraufgaben bietet Newport einen Kalibrierservice an. Dieser beinhaltet die Erzeugung, Implementierung und Verifizierung einer elektronischen Fehlerkompensation zur Verbesserung der Genauigkeit von selektierten GTS Lineartischen. Dieser Service steht nur bei Verwendung der XPS Motorsteuerung zur Verfügung.
Die Messung der Genauigkeit erfolgt bei einer Temperatur von 20,0 °C +/-0,2 °C. Alle reproduzierbaren linearen und nichtlinearen Fehler werden kompensiert. Die Genauigkeit mit Fehlerkompensation ist besser als 1 mm für GTS70 und besser als 1,5 mm für GTS150 und wird über zentrale 80% des Verstellwegs garantiert. Ein Kalibrierzertifikat gemäß Newports Meßprozedur A167 und eine Tabelle mit den Korrekturwerten werden mitgeliefert. Weitere Informationen.
GTS Lineartische ermöglichen 100 nm inkrementale Verstellungen mit hoher Zuverlässigkeit
Eine typische XYtheta Baugruppe bestehend aus einem GTS70, einem GTS150 und einem Drehtisch URS100.
Konstruktionsparameter
| Material |
Spannungsfrei geglühtes Aluminium 7075 |
| Führungen |
Kreuzrollenführungen mit Käfigführung |
| Antriebsmechanismus |
Umkehrspielfreie Kugelumlaufspindel |
| Steigung der Verstellschraube (mm) |
2 |
| Feedback |
Linearmaßstab aus Stahl, 20 mm Teilungsperiode, RS422 Ausgang mit 50 nm Auflösung |
| Endschalter |
Optisch |
| Nullpunkt |
Optisch, in der Mitte des Verstellwegs |
| Motor |
DC-Motor UE34CC |
| Verbindungskabel (m) |
3 |
Technische Daten
|
Modell |
GTS70
|
GTS150
|
| Verstellbereich (mm) |
70 |
150 |
| Auflösung (mm) |
0,05 |
0,05 |
| Kleinste Schrittweite (mm) |
0,1 |
0,1 |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit, garantiert (mm) |
0,2 |
0,2 |
| Genauigkeit entlang der Achse, garantiert (mm) |
2 |
2 |
| Maximale Geschwindigkeit (mm/s) |
50 |
50 |
| Geradheit/Ebenheit, garantiert (mm) |
1 |
2 |
| Neigen, garantiert* (mrad) |
40 |
80 |
| Gieren, garantiert* (mrad) |
40 |
40 |
| MTBF (Std.) |
20,000 |
20,000 |
| Gewicht (kg) |
2,7 |
3,6 |
* Über zentrale 80% des Verstellwegs
Für weitere informationen bezüglich unserer typischen und garantierten Spezifikationen, siehe
Messtechnik in der Mikropositionierung.
Belastbarkeit und Steifigkeit
| Modell |
GTS70 |
GTS150 |
| Cz, zentrale Belastbarkeit |
100 N |
100 N |
| -Cx, +Cx, Axiale Belastbarkeit |
25 N |
20 N |
| Kax, Nachgiebigkeit (Rollen) |
10 mrad/Nm |
5 mrad/Nm |
| Kay, Nachgiebigkeit (Neigen) |
10 mrad/Nm |
5 mrad/Nm |
| Kaz, Nachgiebigkeit (Gieren) |
10 mrad/Nm |
5 mrad/Nm |
| Q, exzentrische Belastung |
Q £ Cz/(1+D/100) |
Q £ Cz/(1+D/100) |
| Wobei D = Länge des Hebelarms in mm |
