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Les socles FabFloor™ constituent une solution novatrice pour l’installation sur socle d’équipements et de machines pour semi-conducteurs. Des panneaux en nid d’abeille extrêmement rigides sont utilisés pour installer des équipements de haute précision comme les steppers de lithographie, les microscopes électroniques à balayage et les machines d’inspection de masques. Ces panneaux très légers sont placés sur le faux plancher et peuvent être conçus sur mesure en fonction des sites ou des équipements. |
Rapport Rigidité/Poids |
Le remarquable rapport rigidité/poids du nid d’abeille vous permet de réaliser une plate-forme extrêmement rigide dont la masse ne représente qu’une fraction de celle d’un socle en béton ou en acier. Un poids moindre se traduit par peu de contraintes dans les planchers, ce qui permet de recourir à la préfabrication, et réduit les coûts en facilitant l’installation. Associée à une grande rigidité, la légèreté donne une structure dont les fréquences propres sont nettement supérieures à celles de la plupart des planchers et se situent bien dans la bande des fréquences filtrées de manière optimale par les systèmes d’isolation des machines. L’excellent amortissement de notre cœur en nid d’abeille Newport, avec sa précontrainte verticale, vient faciliter la tâche des systèmes d’isolation de machine, en atténuant les vibrations transmises par le sol.
Le nid d’abeille renforcé et la triple interface du cœur, des exclusivités Newport, augmentent la raideur statique, ce qui améliore la capacité de charge ponctuelle des plates-formes et permet de les utiliser comme des répartiteurs de charges. La plate-forme distribue donc le poids des machines sur le faux-plancher. Les valeurs élevées de rigidité dynamique et statique minimisent également les mouvements relatifs entre les pieds des équipements, ce qui réduit très fortement les vibrations des bâtis. |
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Compatible avec les salles blanches |
Les socles FabFloor, préfabriqués, peuvent être livrés dans un parfait état de propreté, en évitant ainsi les problèmes de contamination des socles coulés en béton. C’est particulièrement intéressant dans les réaménagements de salles blanches existantes, puisque les socles FabFloor peuvent être installés, retirés ou déplacés avec un minimum d’efforts. La construction en acier inoxydable offre un niveau de compatibilité avec les salles blanches (en raison des faibles quantités de particules dégagées) que les socles en béton ne peuvent égaler. |
Conception sur mesure pour vos locaux |
Les socles FabFloor peuvent être conçus sur mesure (longueurs, largeurs et formes spéciales). La hauteur peut être choisie de manière à ce que le socle, posé sur le plancher, atteigne le niveau du faux-plancher de la salle blanche. Des options spéciales comme les traversées pour câbles et flexibles, écoulement laminaire et amortissement pré-accordé, peuvent également être réalisées. |
Conception sur mesure pour vos machines |
Les socles FabFloor peuvent être conçus pour les équipements de constructeurs OEM, afin de tenir compte de la charge, du centre de gravité et de l’implantation des pieds. Des atténuateurs de vibration pré-accordés peuvent être intégrés pour éliminer certains modes de résonance spécifiques du sol, du bâti ou de la machine. |
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Modèle FEA : mode en torsion à 321 Hz.
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