Série CP Plates-formes suspendues
  • Isolation des systèmes à centre de gravité élevé
  • Grande variété d’isolateurs
  • Acier inoxydable électropoli, nickelage sans électrode et autres finitions
  • Services d’analyse par éléments finis et d’essais de résonance
  • Fourniture clé en mains
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Description Catalog PDF
Isolateurs I-2000 supportant une plate-forme suspendue avec plateau en nid d’abeille.

Souvent, les équipements présentent un centre de gravité très élevé. Les exemples les plus courants sont ceux comportant des appareillages de grande taille, comme les microscopes électroniques à balayage ou à transmission. D’autres configurations comprennent des passerelles en granit pour porter des équipements de mesure. Dans ce cas, le centre de gravité peut être plus élevé que les recommandations formulées pour les plate-formes d’optique habituelles. Nous donnons ci-dessous une méthode empirique de calcul pour une table d’optique classique.

Lorsque le centre de gravité n’est pas situé dans la zone conseillée, le moment angulaire du système peut dépasser la force de rappel du système pneumatique de remise à niveau des isolateurs. On peut comparer le problème à celui d’un bateau à voile de grande hauteur, lorsque le couple de basculement appliqué aux voiles dépasse le couple de rétablissement exercé par la quille. On peut trouver une autre analogie dans l’instabilité inhérente d’un avion de chasse dont les ailes sont basses, par rapport à un Cessna dont les ailes sont implantées en haut de la carlingue. Dans ce cas, l’instabilité peut entraîner un mouvement oscillatoire, dû à la lutte entre le mouvement de basculement et la force de rétablissement. Dans un système pneumatique d’isolation pour table d’optique, la charge utile peut osciller violemment lorsque les vannes pneumatiques cherchent à compenser le moment de basculement. Dans la réalité, des systèmes à hautes performances, réglés de manière à optimiser les temps de réponse et la précision de la mise à niveau peuvent se comporter plus mal que des systèmes « souples » à performances plus médiocres.

La solution à ce type de problème est d’utiliser une plate-forme suspendue. Dans une telle configuration, le centre de gravité est abaissé, ce qui améliore considérablement la stabilité de beaucoup de systèmes. Au fil des années, Newport a construit un grand nombre de plates-formes suspendues. En règle générale, elles se composent de trois ou quatre bras fixés au sommet des isolateurs et supportant une plate-forme qui se trouve au niveau du sol. Chaque système est réalisé sur mesure suivant les spécifications du client.

Nous présentons ici un certain nombre de réalisations. Les matériaux utilisés sont de l’acier mécano-soudé, de l’aluminium et du nid d’abeille. Tout comme pour nos autres produits sur mesure, il est possible de prévoir des découpes, des trous, des niveaux multiples et même des structures verticales. Il est possible d’utiliser tous nos systèmes d’isolation, en fonction de la charge et de la taille. Nous pouvons prévoir des systèmes d’accostage et d’autres options.


Plate-forme suspendue avec découpe sur mesure.


Plate-forme suspendue en aluminium soudé


Isolateurs I-800A supportant une plate-forme pour salle blanche.


Plate-forme d’inspection pour wafers (production des semi-conducteurs).

Applications
  • Bancs d’essais de rotation de disques
  • Machine d’alignement de masque
  • Production de wafers
  • Microscopie électronique à balayage
  • Microscopie électronique en transmission