Les platines de translation de la série M-IMS-LM sont conçues pour les applications autoportantes avec des courses de 300 mm à 600 mm. Ces platines se caractérisent par une conception robuste et des performances élevées à moindre coût, ce qui en fait des solutions économiques pour les applications industrielles de précision, telles que linspection de tranches de semi-conducteurs, les tests et lassemblage de micro-électronique, le montage par bras-transfert, le séquençage de lADN ou lusinage laser.
Fondée sur la technologie éprouvée M-ILS et M-IMS, la série M-IMS-LM utilise un corps extrudé en aluminium optimisé (FEA) extrêmement rigide, tout en minimisant leffet de flèche induite provoqué par les différents coefficients de dilatation thermique du corps en aluminium et des rails en acier.
Contrairement aux platines entraînées par vis, la série M-IMS-LM utilise un moteur linéaire à entraînement central. Cet entraînement est absolument silencieux et offre une vitesse, une accélération et une réactivité du système plus élevées, sans usure des balais du moteur ou des vis dentraînement. De plus, grâce au moteur linéaire parfaitement intégré, la IMS-LM est plus courte de 100 mm quune platine à vis de même course. Ainsi, la série M-IMS-LM est la solution idéale pour les applications dans lesquelles lespace est limité qui nécessitent un débit élevé, une fiabilité élevée et un fonctionnement ultra-silencieux.
La M-IMS-LM utilise un moteur linéaire à coeur en acier synchrone triphasé à efficacité élevée. Si les moteurs linéaires à coeur en acier sont réputés pour leur denture et leurs forces dattraction, leur efficacité est pratiquement deux fois plus élevée que celle des moteurs linéaires sans acier. Par conséquent, on obtient de plus grandes accélérations et moins de dissipation thermique, éléments limitant les performances du positionnement point-par-point rapide.
Des patins à recirculation de billes précontraintes permettent dobtenir dexcellentes capacités de charge et un très bon MTBF. Les patins à recirculation de billes avec cages garantissent un mouvement tout en douceur, sans bruit et une durée de vie plus longue, par rapport aux patins à recirculation de billes sans cage.
Une règle optique trés répétable, montée à lintérieur de la platine, permet de bénéficier dune lecture de position ultra précise. Les signaux du codeur sont interpolés par le contrôleur XPS de Newport avec une résolution sub-nanométrique pour une sensibilité, une répétabilité et une stabilité de positionnement exceptionnelles. Lorigine et les fins de course sont incorporés sur cette règle, permettant ainsi déviter lemploi de systèmes électroniques ou mécaniques supplémentaires et améliorer la fiabilité et la précision de la platine.
Besoin d'une précision meilleure que 1mm?
Pour toutes applications critiques, Newport propose une calibration de positionnement. En effet, sur demande, nous pouvons créer, intégrer et vérifier le bon fonctionnement d'une compensation linéaire avec un contrôleur XPS afin d'améliorer la précision absolue des platines M-IMS-LM. cette compensation est mesurée à 20,0°C, +/- 0,2°C pour les erreurs linéaires et non linéaires, permettant d'atteindre une précision meilleure que 1mm/100 mm sur 80% de la course (centrée). Un certificat de calibration lié à la platine est alors fourni suivant la norme de métrologie A67 Newport. Cliquez ici pour plus d'information.
Les platines M-IMS-LM permettent deffectuer des déplacements incrémentaux très petits, avec une précision et une fiabilité exceptionnelles.
Précision dune platine M-IMS300LM après compensation des erreurs linéaires. Les données ont été récoltées de manière dynamique à une fréquence de 10 kHz, tandis que la table se déplaçait à une vitesse de 50 mm/s. La lecture du codeur et de linterféromètre a été faite par un contrôleur XPS, avec un délai dattente inférieur à 50 ns entre les différents signaux.
Les platines M-IMS-LM offrent une stabilité exceptionnelle de la vitesse pour les applications de scanning en continu et dusinage laser.
La grande raideur des platines M-IMS-LM permet un temps de stabilisation très bref qui améliore les performances et le rendement de nombreux process dusinage et de scanning.
Détails de conception
| Matériau de base |
Aluminium extrudé |
| Guidages |
Quatre patins à recirculation de billes avec cages |
| Mécanisme d'entraînement |
Moteur linéaire 3-phases synchrone à noyau de fer (sans capteurs à effet Hall) |
| Initialisation moteur |
Par le contrôleur universel XPS, via une routine spéciale sans capteur qui évite tout déplacement important pendant l'initialisation |
| Commutation moteur |
Par le contrôleur universel XPS, sur les signaux du codeur |
| Codeur |
Règle linéaire en acier, période du signal de 20 mm, 1 Vcc, 32 768 subdivision du signal par le contrôleur universel XPS |
| Origine |
Optique, avec top zéro sur le codeur, située à mi-course |
| Câble |
Câbles de 5m inclus |
Spécifications
| Référence |
M-IMS300LM |
M-IMS400LM |
M-IMS500LM |
M-IMS600LM |
| Course (mm) |
300 |
400 |
500 |
600 |
| Résolution* (mm) |
0,005 |
| Incrément minimum (nm) |
20 |
| Répétabilité bi-directionnelle garantie (nm) |
500 |
| Précision dans l'axe garantie (mm) |
9 |
11 |
15 |
20 |
| Vitesse maximum (mm/s) |
500 |
| Accélération maximum, sans charge (m/s2) |
20 |
| Poussée maximale (N) |
60 |
| Poussée maximale (pic)** (N) |
120 |
| Tangage garanti (mrad) |
250 |
250 |
250 |
300 |
| Lacet garanti (mrad) |
200 |
250 |
300 |
450 |
| MTBF (h) |
20 000 |
| Poids (kg) |
17 |
19 |
21 |
23 |
* Résolution interne de lXPS inférieure à 1 nm
** 22s crête
Caractéristiques de charge et de raideur
| Cz, Capacité de charge centrée normale au guidage |
600 N |
| kax, Raideur angulaire (roulis) |
1 mrad/N.m |
| kay, Raideur angulaire (tangage) |
0,2 mrad/N.m |
| kaz, Raideur angulaire (lacet) |
1 mrad/N.m |
| Q, Charge en porte-à-faux |
QH£Cz/(1 + D/90) |
| D, Distance en porte-à-faux (en mm) |
|