Nos isolateurs OEM pour charges élevées Newport offrent une isolation pneumatique inégalée contre les vibrations, pour des plate-formes jusqu’à 5 tonnes. Utilisant la construction à chambre hybride Stabilizer™, une exclusivité Newport, ces isolateurs offrent le volume élastique le plus important et donc la meilleure isolation verticale des matériels de cette taille. Dans le cas de configurations avec charges en mouvement, ces isolateurs assurent un amortissement élevé et un repositionnement rapide moyennant un léger compromis au niveau des caractéristiques d’isolation. Les isolateurs pour charges élevées intègrent également notre mécanisme breveté d’autocentrage afin de faciliter leur intégration en cours de fabrication. Notre large gamme Newport et nos ensembles modulaires donnent la plus grande souplesse aux concepteurs d’équipements de précision.
Comme les meilleures conditions d’isolation sont réunies à pleine charge nominale, trois types de diaphragmes pour charges élevées sont proposés. Installés sur des systèmes à 3 ou 4 pieds, on obtient ainsi une série de six charges utiles vous permettant d’optimiser votre système. Il existe également une grande variété de vannes et de mécanismes d’amortissement pour adapter encore mieux le système aux besoins spécifiques de l’application. Dix-huit configurations standard sont répertoriées, mais l’éventail peut être encore beaucoup plus large en s’adressant à notre service commercial.
Systèmes à haute résolution — Isolateurs Stabilizer™ série A
Dans de nombreux systèmes à haute résolution, tels que les photorépéteurs, les microscopes électroniques à balayage et les machines d’inspection de masques, un niveau très bas de bruit dû aux vibrations constitue la limite ultime de fonctionnement. Nos isolateurs Newport pour charges élevées de la série A reprennent la technologie de pointe à chambre hybride qui a été développée pour les isolateurs I-2000 destinés à la recherche. Le niveau d’isolation assuré par le système est inégalé pour des isolateurs pneumatiques de cette taille. La série A constitue le meilleur choix pour la plupart des applications à haute résolution.
Systèmes à haut débit — Isolateurs série B
A partir de notre technologie exclusive Stabilizer™ Newport, les modèles Damping offrent un amortissement supérieur et un temps de repositionnement de la plate-forme plus court. Les modèles de la série B conviennent pour des systèmes à haute résolution dont les exigences sont accrues en termes de temps de repositionnement et de stabilité lorsque des charges se déplacent sur la plate-forme.
Les isolateurs Damping intègrent des vannes à gain élevé et réduisent de 50 % le flux d’air traversant l’élément amortisseur. Des versions sur mesure peuvent être conçues en fonction de votre cahier des charges spécifique (caractéristiques d’isolation, charges en mouvement).
Applications
Équipements de production de semi-conducteurs
- Photorépéteurs
- Inspection de masques et de réticules
- Microscopes SEM/TEM
- Inspection optique
Equipements de stockage de données
- Production des matrices de CD/DVD
- Inspection optique
Systèmes à haut débit — Série C avec amortissement horizontal
Les systèmes présentant des charges avec de fortes accélérations horizontales nécessitent un amortissement spécifique. Sur la base de notre expérience dans la construction des tables à coussin d’air à mouvements rapides, les isolateurs de la série C ajoutent l’amortissement horizontal aux modules de base Stabilizer et Damping. Le mécanisme d’isolation horizontale à pendule assure une isolation supérieure aux faibles niveaux de vibration que les systèmes à palier ou à cardan, qui posent des problèmes de frottement. Ce système exclusif d’isolation horizontale dissipe l’énergie de la plate-forme avec un minimum de compromis sur le plan de l’isolation.
Précision du repositionnement et de la mise à niveau
La capacité standard de mise à niveau des isolateurs pour charges élevées est de ±0,25 mm. Cependant, des versions personnalisées avec une précision de mise à niveau de 0,05 mm sont disponibles sur demande. La course horizontale est de 3 mm, avec une précision de repositionnement de 0,08 mm. Pour un positionnement plus précis, il peut être nécessaire de prévoir un système d’arrimage.
Arrimage des plates-formes et autres exigences spécifiques
De nombreux systèmes d’inspection et de production exigent un positionnement très précis de la charge utile (par exemple pendant le chargement/déchargement des wafers). Notre groupe OEM peut vous proposer des systèmes d’arrimage à pression ainsi que des systèmes d’arrimage par gravité, avec ou sans régulation. Des diaphragmes de raideur variable et des vannes différentes sont utilisées pour adapter le systèmes aux exigences spécifiques. Ces isolateurs existent dans différentes hauteurs et peuvent s’intégrer dans tous les bâtis tubulaires.
Versions amagnétiques
Les matériels de la série I-800 sont logés dans un carter en aluminium et peuvent être modifiés pour les applications qui nécessitent des isolateurs totalements amagnétiques (par exemple, résonance magnétique nucléaire, recherche sur les supraconducteurs et autres applications à champs magnétiques élevés). Veuillez contacter notre service commercial pour obtenir plus d’informations.
