Der Rotationstisch RGV100BL mit Direktantrieb bietet hohe Positioniergeschwindigkeiten, eine hohe Auflösung und eine hervorragende Positioniergenauigkeit in extrem kompakter Bauform. Er wird in der Inspektion von Halbleiter-Wafern, der Mikro-Robotik und der Präzisionsmesstechnik eingesetzt.
Durch den Direktantrieb wird bei dem RGV100BL der sonst übliche Schneckenantrieb vermieden. Die Vorteile sind: höhere Geschwindigkeit, Zuverlässigkeit und Positionierempfindlichkeit. Geschwindigkeit, Auflösung und Wiederholgenauigkeit sind im Vergleich zu mit Schneckenantrieb betriebenen Rotationstischen der gleichen Größe um den Faktor 10 verbessert.
Ein mit Selten-Erd-Dauermagneten ausgestatteter bürstenloser Drehmomentmotor liefert ein optimales Verhältnis von Drehmoment zu Trägheit und erreicht damit hohe Beschleunigungsraten bei minimaler Erwärmung. Bei maximalem kontinuierlichen Drehmoment, wird die Motortemperatur nur um 30°C erhöht. Das ist wesentlich weniger als bei anderen Rotationstischen und garantiert hohe Leistung und hohe Zuverlässigkeit bei anspruchsvollen Anwendungen.
Ein hochauflösender Glasmaßstab mit 15.000 Linienpaaren je Umdrehung ermöglicht die Direktablesung der Position. Der flache Encoder ist auf einer präzisionsgeschliffenen Referenzfläche montiert und exakt zur Rotationsachse des Drehtisches ausgerichtet, um Fehler durch Exzentrizität und Taumeln zu minimieren. Die Encoder-Signale werden durch die XPS Motorsteuerung mit einer Auflösung unter 0,1 Bogensekunden interpoliert, wodurch eine hervorragende Genauigkeit, Verstellempfindlichkeit und Stabilität gewährleistet wird.
Der Rotationstisch RGV100BL verwendet eine von Newport entwickelte Kugelführung mit 4 Kontaktpunkten. Die einzigartige zweiteilige Konstruktion des RGV100BL basiert auf Newports umfassenden Kompetenzen in der Konstruktion, Fertigung und Montage von Präzisionsmechaniken und integriert mehrere Funktionen, wie z.B. die Kugelführungen und den Direktantrieb, wodurch die Anzahl der Teile minimiert wird. Daraus ergibt sich ein kompakterer Rotationstisch mit höherer Steifigkeit, Zuverlässigkeit und extrem geringem Taumeln und Exzentrizität.
Für die Führung von Kabeln und Vakuumleitungen ist eine Durchgangsbohrung mit 30 mm Durchmesser vorgesehen. Ein Indexpuls pro Umdrehung ermöglicht es, jederzeit auf einen Referenzpunkt zurückzufahren, wobei ein Nullpunktrichtungssignal die kürzeste Entfernung zum Nullpunkt anzeigt. Der RGV100BL ist außerdem mit zwei Endschaltern ausgestattet, die über einen externen Schalter aktiviert und deaktiviert werden können.
Konstruktionsparameter
| Material |
Aluminium |
| Führungen |
Kugelführungen mit grossem Durchmesser |
| Motor |
DC-Drehmomentmotor mit Selten-Erd-Dauermagneten |
| Motor Initialisierung |
Wird von der XPS Motorsteuerung durch einen patentierten Prozess gewährleistet, der eine Verstellung während der Initialisierung vermeidet und keine Hall-Effekt-Sensoren erfordert. |
| Motor Kommutierung |
Wird von der XPS Motorsteuerung auf den Encoder Signalen durchgeführt |
| Feedback |
Glasmaßstab mit 15,000 Linienpaaren je Umdrehung, 1 Vss Signalausgang, 32.768-fache Signalunterteilung bei Verwendung der XPS Motorsteuerung |
| Endschalter |
Zwei optische Endschalter bei ca. +/- 168°, aktivierbar durch externen Schalter |
| Nullpunkt |
Optisch, im Encoder integriert, mit Nullpunktsrichtungssignal |
| Länge des Verbindungskabels (m) |
5 |
Technische Daten
| Verstellbereich (°) |
360 kontinuierlich |
| Auflösung (°) |
0,000011) |
| Unidirektionale Wiederholgenauigkeit, garantiert (°) |
0,0003 |
| Umkehrfehler (Hysterese), typisch (°) |
0,0001 |
| Genauigkeit, garantiert (°) |
0,01 |
| Maximale Geschwindigkeit (ohne Belastung) (°/s) |
720 |
| Maximale Beschleunigung (°/s²) |
1000 |
| Max. Drehmoment (Nm) |
0,42 @ 0°/s |
| Trägheit (ohne Belastung) (kg.m2) |
0,00116 |
| Taumeln, garantiert (mrad) |
20 |
| Exzentrizität, garantiert (mm) |
3 |
| MTBF |
20 000 Stunden bei 30% Auslastung, 50 N zentraler Last und 720°/s Geschwindigkeit |
| Gewicht (kg) |
2,6 |
1) Die vom XPS verwendete Auflösung liegt unter 0,01 Bogensekunden.
Belastbarkeit
| Cz, zentrale Belastbarkeit |
100 N |
| Ka, transversale Nachgiebigkeit |
15 mrad/Nm |
| Mz, maximales Drehmoment |
0,42 Nm @ 0°/s |
| Jz, maximale Trägheit |
0,032 kgm2 |
| Q, exzentrische Belastung |
Q £ Cz/(1+D/35) und Q£(Jz-Jq)/D2 |
| Wobei D = Länge des Hebelarms in mm, Jq = Trägheit der Last |
