Le plateau tournant ultra-compact à entraînement direct RGV100BL assure des rotations ultra-rapides avec une très grande résolution et des performances de positionnement exceptionnelles. Applications: semiconducteur, micro-robotique et métrologie de précision.
La technologie à entraînement direct du RGV100BL élimine la vis sans fin des platines de rotation traditionnelles. Les avantages sont les suivants : vitesses plus élevées, fiabilité supérieure et sensibilité de positionnement accrue. La vitesse, la résolution et la répétabilité sont améliorées d’un facteur 10 par rapport aux plateaux de rotation à vis sans fin de même taille.
Un moteur couple à courant continu de haut rendement faisant appel à des aimants de type «terre rare» délivre un rapport couple/volume optimal, ce qui garantit des vitesses d'accélération élevées avec un échauffement minimum de la platine. Au couple maximum, l'élévation de la température du moteur n'est que de 30°C. Ce qui est significativement inférieur aux autres technologies et permet d'obtenir de hautes performances et une grande fiabilité compatible avec les applications les plus pointues.
La précision est assurée par un codeur optique de haute résolution comportant 15 000 traits par tour. La position de la plate-forme de rotation est ainsi lue directement. Le codeur ultra-compact monté sur une surface de référence rectifiée avec précision est parfaitement aligné avec l'axe de rotation de la platine pour minimiser les erreurs de positionnement dues à l'excentricité, au flottement ou au faux-rond. le codeur est interpolé par notre contrôleur XPS afin d'obtenir une résolution de 0,1 arcsec et garantir une grande sensibilité et une haute stabilité.
Le RGV100BL intègre notre guidage breveté à 4 points de contact. Ce concept unique d'assemblage de 2 pièces permet d'obtenir tout le bénéfice de la technologie développée par Newport et d'avoir de multiples fonctions avec un minimum de pièces. D'où rigidité, haute fiabilité, excellente concentricité et un minimum de voilage.
Une ouverture de 30 mm de diamètre facilite, par exemple, le passage de câbles et des conduits de vide au travers de la platine. Un top zéro permet de rallier la position d’origine avec précision. Le RGV100BL comprend aussi deux fins de courses que l'on peut inhibé de l'extérieur pour avoir un mouvement continu.
Détails de conception
| Matériau de base |
Aluminium |
| Guidages |
Chemin de billes de large diamètre |
| Moteur |
Moteur sans balais à courant continu à aimant à terre rare |
| Initialisation moteur |
Exécuté par le contrôleur XPS suivant un process breveté qui évite tout mouvement significatif durant l'initialisation et n'utilise auccun capteur à effet Hall |
| Commutation moteur |
Via le contrôleur XPS sur les signaux codeurs |
| Codeur |
Codeur optique, 15 000 traits par tour, 1Vcc, 32 768 subdivisions du signal par le contrôleur XPS |
| Fins de course |
Deux fins de course optiques à environ +/- 168°, activables/désactivables par un switch extérieur |
| Origine |
Optique, à la position 0°, avec top zéro sur la règle optique |
| Longueur du câble (m) |
5 |
Spécifications
| Course (°) |
360° en continu (possibilité de valider 2 fins de course par un switch extérieur) |
| Résolution (°) |
0,00001* |
| Répétabilité uni-directionnelle garantie (°) |
0,0003 |
| Erreur de réversibilité (Hystérésis) typique (°) |
0,0001 |
| Précision garantie (°) |
0,01 |
| Vitesse maximum (sans charge) (°/s) |
720 |
| Accélération maximum (°/s²) |
1000 |
| Couple maximum (Nm) |
0,42 @ 0°/s |
| Inertie (sans charge) (kg.m2) |
0,00116 |
| Voilage garanti (mrad) |
20 |
| Concentricité garantie (mm) |
3 |
| MTBF (h) |
20 000 à 30 % du cycle, avec une charge de 50 N à 720 |
| Poids (kg) |
2,6 |
* Résolution interne de l'XPS inférieure à 0,01 arcsec.
Caractéristiques de charge et de raideur
| Capacité de charge centrée normale au guidage |
100 N |
| Ka, Raideur transversale |
15 mrad/Nm |
| Mz, Couple maximum |
0,42 Nm à 0°/s |
| Jz, Inertie maximum |
0,032 kgm2 |
| Q, Charge en porte-à-faux |
Q £ Cz/(1+D/35) et Q£(Jz-Jq)/D^2 |
| D = Distance en porte-à-faux (en mm) et Jq = Inertie de la charge embarquée |
