DescriptionSpecifications
Models
Spécifications
| NPM140 NPM140SG |
| Course en boucle ouverte (±10 %), (µm) (1) | 140 |
| Course en boucle fermée (µm) (1, 2) | 90 |
| Résolution en boucle ouverte (nm) (3) | 0,1 |
| Résolution en boucle fermée (nm) (2) | 1 |
| Répétabilité typique (nm) (2) | 35 |
| Capacité (±20 %) (µF) | 1,7 |
| Fréquence propre, sans entraînement (Hz) | 670 |
| Raideur axiale (N/µm) | 0,4 |
| Charge axiale maximale (N) | 100 |
| Masse (g) | 125 |
1) Valeur typique mesurée avec NPC3 et NPC3SG, (courant continu entre -20 V et +130 V).
2) S'applique uniquement au modèle NPM140SG en boucle fermée.
3) Égale à la valeur efficace du bruit mesurée par les contrôleurs NPC3 et NPC3SG.