Für besonders anspruchsvolle Positionieraufgaben bietet Newport einen Kalibrierservice an. Dieser beinhaltet die Erzeugung, Implementierung und Verifizierung einer elektronischen Fehlerkompensation zur Verbesserung der Genauigkeit von selektierten Lineartischen. Dieser Service steht nur bei Verwendung der XPS Motorsteuerung zur Verfügung.
Die Messung der Genauigkeit erfolgt bei einer Temperatur von 20,0 °C +/-0,2 °C. Alle reproduzierbaren linearen und nichtlinearen Fehler werden kompensiert. Ein Kalibrierzertifikat gemäß Newport's Meßprozedur A167 und eine Tabelle mit den Korrekturwerten werden mitgeliefert.
Erhältlich mit vielen Lineartischen von Newport
Der Kalibrierservice wird mit folgenden Lineartischen angeboten. Die Verwendung einer XPS Motorsteuerung wird vorausgesetzt:
- Serie XM Ultrapräzise Lineartische
- Serie GTS Hochpräzise Lineartische
- Serie M-VP-25XL Kompakte Präzisions-Lineartische
- Serie M-IMS-LM Leistungsstarke Lineartische mit Linearmotor für lange Verstellwege
- Serie M-IMS-CCHA Leistungsstarke Lineartische mit langen Verstellwegen
- Serie M-ILS-CCHA Leistungsstarke Lineartische für mittlere Verstellwege
Verbesserte Genauigkeit - Garantiert
Newport’s Kalibrierservice korrigiert alle reproduzierbaren linearen und nichtlinearen Fehler in der Genauigkeit und verbessert so das Positionierverhalten. Das folgende Beispiel zeigt die möglichen Verbesserungen:
Abb 1: XMS50 Lineartisch ohne Fehlerkompensation (d.h. insbesondere auch ohne Linearfehlerkompensation). Die absolute Genauigkeit beträgt 3 mm p-p.
Abb. 2: XMS50 Lineartisch aus Abbildung 1 mit Fehlerkompensation. Diese Daten wurden einen Tag nach der Kalibrierung gemessen. Dargestellt ist die Genauigkeit über 5 Bewegungszyklen in Vorwärts- und Rückwärtsrichtung. Die Positionen zur Überprüfung der Genauigkeit unterscheiden sich von denen die zur Kalibrierung verwendet wurden. Die absolute Genauigkeit beträgt 0,3 mm p-p.
| Genauigkeit |
1 mm je 100 mm Verstellweg mit XM und GTS Lineartischen
1 mm + 1 mm je 100 mm Verstellweg mit M-IMS-LM, M-IMS-CCHA, M-ILS-CCHA, und M-VP-25XL Lineartischen |
Spezifikationen
*Die Genauigkeit wird über 80% des zentralen Verstellweges garantiert. Für Anwendungen, die eine Genauigkeit besser als 1 mm erfordern, nehmen Sie bitte Kontakt mit uns auf.
