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Speziell für hohe Leistungen im UV-Bereich ausgelegt, sind die Hochleistungsspiegel für Excimer-Laser mit dielektrischen Beschichtungen versehen, die besonders niedrige Verluste und maximale Reflexion aufweisen. Für optimale Stabilität und Welllenfrontqualität bestehen die Spiegel aus UV Fused Silica und haben eine Ebenheit von l/10 .
Newport bietet Excimer-Spiegel für ArF (193 nm), KrF (248 nm), XeCl (308 nm) und XeF (351-353 nm) bei 0° oder 45° an. Die Reflexion bei 193 nm ist größer als 98% für 0°-Spiegel und größer als 95% für 45°-Spiegel. Die Reflexion ist größer als 99% für 0°- und 45°-Spiegel bei 248, 308 und 351-353 nm. Die Spiegel gibt es mit Durchmessern von 25,4 mm und 50,8 mm. |
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Technische Daten
| Material | UV Fused Silica |
| Oberflächen-Ebenheit S1 | £l/10 bei 632,8 nm über die nutzbare Apertur |
| Nutzbare Apertur | ³ zentrale 80% des Durchmessers |
| Oberflächen-Qualität | 10-5 Kratzer-Aussprünge |
| Durchmessertoleranz | +0/-0,25 mm |
| Dickentoleranz | ±0,5 mm |
| Keil | £3 Bogenmin. |
| Fasen | 25,4 mm: 0,25–0,76 mm x 45° ±15°
50,8 mm: 0,38–1,14 mm x 45° ±15° |
| Widerstandsfähigkeit | MIL-C-675C Adhäsion und Abrieb, MIL-C-14806 |
| Reinigung | Jede nicht reibende Reinigungsmethode, am besten mit Aceton oder Isopropylalkohol und Linsenpapier (Unknown type Newport.Step.Product.XRefElement) |
| Zerstörschwelle | 1 MW/cm2 CW, 1 J/cm2 bei 10 ns Pulsdauer bei der Zentralwellenlänge, typisch |
| | Model | Description |
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10QM20EM.10
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High Energy Excimer Laser Mirror, 25.4 mm Diameter, 6.35 mm, 0°, 248nm
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10QM20EM.15
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High Energy Excimer Laser Mirror, 25.4 mm Diameter, 6.35 mm, 45°, 248nm
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10QM20EM.20
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High Energy Excimer Laser Mirror, 25.4 mm Diameter, 6.35 mm, 0°, 308nm
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10QM20EM.25
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High Energy Excimer Laser Mirror, 25.4 mm Diameter, 6.35 mm, 45°, 308nm
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10QM20EM.30
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High Energy Excimer Laser Mirror, 25.4 mm Diameter, 6.35 mm, 0°, 351-353nm
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10QM20EM.35
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High Energy Excimer Laser Mirror, 25.4 mm Diameter, 6.35 mm, 45°, 351-353nm
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10QM20EM.40
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High Energy Excimer Laser Mirror, 25.4 mm Diameter, 6.35 mm, 0°, 193nm
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10QM20EM.45
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High Energy Excimer Laser Mirror, 25.4 mm Diameter, 6.35 mm, 45°, 193nm
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20QM20EM.15
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High Energy Excimer Laser Mirror, 50.8 mm Diameter, 9.53 mm, 45°, 248nm
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20QM20EM.25
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High Energy Excimer Laser Mirror, 50.8 mm Diameter, 9.53 mm, 45°, 308nm
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20QM20EM.35
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High Energy Excimer Laser Mirror, 50.8 mm Diameter, 9.53 mm, 45°, 351-353nm
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20QM20EM.45
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High Energy Excimer Laser Mirror, 50.8 mm Diameter, 9.53 mm, 45°, 193nm
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