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La GTS30V est la platine de translation verticale de grande course idéale pour les applications où l'échantillon doit être étudié sur l'ensemble de sa périphérie. Sa faible hauteur et sa haute précision en font un excellent choix pour les applications dans le domaine du semi-conducteur (inspection de wafers), des nanotechnologies, de l'alignement automatique, de la métrologie et des procédés de contrôle
qualité.
Associées à nos platines de translation des séries XM (voir Platines de translation de très haute précision
), GTS (voir Platines de haute précision ), M-VP-25X (voir Platines de translation compactes de précision), M-ILS (voir Platines de translation à haute performance), ou M-IMS (voir Tables de translation linéaire de longue course à haute performance), les GTS30V sont une alternative de faible encombrement face au traditionnels montage en XYZ et offrent un accès libre sur tout le pourtour de l'objet à étudier. De plus, la charge étant positionnée entre les chemins de guidage, il y a moins de porte-à-faux et moins d'erreur Abbé.
Ce mouvement vertical de haute précision est obtenu grâce à un guidage direct composé de rails appairés et équipés d'un système d'antiglissement des rouleaux croisées. Comparé aux platines à coins glissants, ce guidage donne une meilleure répétabilité. De même, la non-recirculation d'éléments dans le guidage offre un mouvement sans ondulation bien utile dans les applications de haute sensibilité. Enfin, le dispositif d'antiglissement empêche toute migration des cages de ce guidage, problème récurant des platines de translation utilisées en verticale.
Un moteur à courant continu associé à une vis de faible friction, rectifiée et de grande précision, permet un mouvement ultra-doux irréversible, même à charge maximum. Le moteur replié et lié à la vis mère via une courroie faisant office de réducteur, augmente le couple d'entraînement et diminue donc la sensibilité de l'asservissement, rendant ainsi possible un déplacement minimum de 100 nm avec nos contrôleurs Newport. ?La lecture de la position se fait au travers d'une règle optique de 50 nm de résolution. Comparées aux solutions utilisant des codeurs rotatifs montés sur une vis mère, cette lecture directe évite toute erreur liée à la chaîne cinématique, permettant ainsi une précision et une répétabilité de tout premier ordre. |
Assemblage XYZ compact composé d'une GTS150, une GTS70 et d'une platine verticale GTS30V.
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Assemblage typique composé d'une M-ILS250, d'une GTS30V et d'une rotation URS100.
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Assemblage XYZ typique d'une GTS30V avec deux platines M-VP-25XA.
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Détails de conception
| Matériau de base | Aluminium 7075 détensionné |
| Guidages | Simple chemin à rouleaux croisés avec système antimigration de cage |
| Mécanisme d'entraînement | Vis de précision, sans jeu, de 6 mm de diamètre, écrou précontraint par gravité |
| Pas de la vis d'entraînement (mm) | 1 |
| Codeur | Règle linéaire en acier, période du signal de 20 mm, résolution de 0,05mm; sortie différentielle RS422 |
| Fins de course | |
| Origine | Optique, située 5 mm de la position fin de course basse |
| Moteur | Moteur à courant continu type UE34CC |
| Longueur du câble (m) | 3 |
Spécifications
| Course (mm) | 30 (-5 mm/+25 mm de l'origine) |
| Résolution (mm) | 0,05 |
| Incrément minimum (mm) | 0,1 |
| Répétabilité bi-directionnelle (mm) | 0,2 garantie |
| Précision dans l'axe (mm) | 0,5 typique - 1,5 garantie |
| Vitesse maximum (mm/s) | 10 |
| Linéarité/Planéité (mm) | 1,5 garanti |
| Lacet/Roulis (mrad) | 50 garanti |
| MTBF (h) | 20 000 |
| Poids (kg) | 3,3 |
Caractéristiques de charge et de raideur
| Cz, Capacité de charge normale au guidage | 40 N |
| Kax, Raideur angulaire (roulis) | 40 mrad/Nm |
| Kay, Raideur angulaire (tangage) | 40 mrad/Nm |
| Kaz, Raideur angulaire (lacet) | 25 mrad/Nm |
| Qx, Qy, Charge en porte-à-faux | Q £ Cz/(1+D/30) |
| D max, Distance en porte-à-faux maximum | 100 mm |