|
Positionier-Option |
Verfahrweg (mm) |
Positionierer |
Maximale Verzögerung (ps) |
Auflösung/Empfindlichkeit (nm) |
Auflösung/Empfindlichkeit (fs) |
| Normale Leistung |
| 01 |
50 |
LTA-HS, M-UMR8.51, ADAPT-BM17-375, M-BPN-81 |
333 |
100 |
0,67 |
| 02 |
100 |
M-ILS100CC1 |
666 |
500 |
3,33 |
| 03 |
200 |
M-ILS200CC1 |
133 |
500 |
3,33 |
| 04 |
400 |
M-IMS400PP2 |
2666 |
1250 |
8,33 |
| 05 |
600 |
M-IMS600PP2 |
4000 |
1250 |
8.33 |
| Hohe Leistung |
| 10 |
25 |
M-VP-25XA1 |
167 |
100 |
0,67 |
| 11 |
50 |
M-ILS50CCHA1 |
333 |
100 |
0,67 |
| 12 |
100 |
M-ILS100CCHA1 |
666 |
100 |
0,67 |
| 13 |
200 |
M-ILS200CCHA1 |
1333 |
100 |
0,67 |
| 14 |
400 |
M-IMS400CCHA3 |
2666 |
100 |
0,67 |
| 15 |
600 |
M-IMS600CCHA3 |
4000 |
100 |
0,67 |
| Höchste Leistung |
| 20 |
25 |
M-VP-25XL4 |
167 |
10 |
0,07 |
1Einschließlich ESP300-1NN111
2 Einschließlich ESP300-1NN112
3 Einschließlich XPS-C4 und XPS-DRVM1
4 Einschließlich XPS-C4 und XPS-DRVM5
|
Positionier-Option |
Positionierer |
Abmessung A (mm) |
Abmessung B (mm) |
Abmessung C (mm) |
Abmessung D (mm) |
Abmessung F (mm) |
| Normale Leistung |
| 01 |
LTA-HS, M-UMR8.51, ADAPT-BM17-375, M-BPN-8 |
74 |
24 |
256 |
50,8 bis 139,7 |
80 |
| 02 |
M-ILS100CC |
110 |
60 |
408 |
50,8 bis 139,7 |
165 |
| 03 |
ISL200CC |
110 |
60 |
508 |
50,8 bis 139.7 |
165 |
| 04 |
M-IMS400PP |
140 |
90 |
768 |
50,8 bis 139,7 |
230 |
| 05 |
M-IMS600PP |
140 |
90 |
968 |
50,8 bis 139,7 |
230 |
| Hohe Leistung |
| 10 |
M-VP-25XA |
89 |
39 |
145 |
50,8 bis 139,7 |
110 |
| 11 |
M-ILS50CCHA |
110 |
60 |
358 |
50,8 bis 139,7 |
165 |
| 12 |
M-ILS100CCHA |
110 |
60 |
408 |
50,8 bis 139,7 |
165 |
| 13 |
M-ILS200CCHA |
110 |
60 |
508 |
50,8 bis 139,7 |
165 |
| 14 |
M-IMS400CCHA |
140 |
90 |
768 |
50,8 bis 139,7 |
230 |
| 15 |
M-IMS600CCHA |
140 |
90 |
968 |
50,8 bis 139,7 |
230 |
| Höchste Leistung |
| 20 |
M-VP-25XL |
89 |
39 |
39 |
50,8 bis 139,7 |
110 |