L'adaptateur pour micromètre piézoélectrique NPM140 apporte un positionnement nanométrique aux produits manuels. Il se fixe sur la platine; il est mécaniquement compatible avec toutes les platines et tous les supports et actionneurs Newport possédant une bride de montage Ø 9,5 mm (0,375")*.
Le préréglage est effectué au moyen de la vis manuelle. Ensuite, le réglage fin est effectué via la tension piézo du NPM140. D'une longueur exceptionnelle, la course de 140 µm est due à un système sophistiqué à flexion obtenu par électroérosion par fil. Ce système constitue également un guidage en translation pour l'extrémité de l'actionneur. La résolution du mouvement piézoélectrique est inférieure au nanomètre.
Il existe une version boucle ouverte (sans lecture de position, référence NPM140) et une version boucle fermée avec lecture de position (NPM140SG). La résolution de la première est limitée uniquement par le bruit de l'électronique de commande, mais la répétabilité et la stabilité sont compromises par l'hystérésis et le fluage du matériau céramique piézoélectrique. La deuxième comporte un extensomètre de haute résolution pour produire des mouvements d'une précision et d'une répétabilité excellentes. La connaissance de la position lui permet aussi de compenser le fluage des actionneurs. Pour maximiser la stabilité en position et minimiser la sensibilité thermique, les éléments du capteur sont disposés en "pont de Wheatstone". Le modèle NPM140SG peut fonctionner en boucle ouverte ou fermée.
*Remarque: La présence de l'adaptateur oblige à reculer la vis manuelle de 22 mm. Par conséquent, pour utiliser la totalité de la course du dispositif choisi, il convient d'utiliser un actionneur dont la course est 22 mm plus longue que celle recommandée pour ce dispositif.
Spécifications
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NPM140
NPM140SG |
| Course en boucle ouverte (±10 %), (µm) (1) |
140 |
| Course en boucle fermée (µm) (1, 2) |
90 |
| Résolution en boucle ouverte (nm) (3) |
0,1 |
| Résolution en boucle fermée (nm) (2) |
1 |
| Répétabilité typique (nm) (2) |
35 |
| Capacité (±20 %) (µF) |
1,7 |
| Fréquence propre, sans entraînement (Hz) |
670 |
| Raideur axiale (N/µm) |
0,4 |
| Charge axiale maximale (N) |
100 |
| Masse (g) |
125 |
1) Valeur typique mesurée avec NPC3 et NPC3SG, (courant continu entre -20 V et +130 V).
2) S'applique uniquement au modèle NPM140SG en boucle fermée.
3) Égale à la valeur efficace du bruit mesurée par les contrôleurs NPC3 et NPC3SG.
